Misuratore di spessore e densità areale integrato CDM

Applicazioni

Processo di rivestimento: rilevamento in linea di piccole caratteristiche dell'elettrodo; piccole caratteristiche comuni dell'elettrodo: carenza di vacanze (nessuna perdita del collettore di corrente, piccola differenza di grigio con l'area di rivestimento normale, errore di identificazione CCD), graffio, contorno dello spessore dell'area di assottigliamento, rilevamento dello spessore AT9 ecc.

Inviaci un'e-mail

Dettagli del prodotto

Tag dei prodotti

Principi di misurazione

Principi di misurazione della densità superficiale

Metodo di assorbimento dei raggi X/β

Principi di misurazione dello spessore

Correlazione e triangolazione laser

Caratteristiche dei test tecnici CDM

Scenario 1: sulla superficie dell'elettrodo è presente una saturazione/mancanza di 2 mm di larghezza e un bordo è più spesso (linea blu come mostrato di seguito). Quando il raggio è di 40 mm, l'impatto della forma dei dati originali misurati (linea arancione come mostrato di seguito) appare ovviamente minore.

Scenario 2: dati del profilo dell'area di diradamento dinamico larghezza dati 0,1 mm

Caratteristiche del software

Parametri tecnici

Nome	Indici
Velocità di scansione	0-18 m/min
Frequenza di campionamento	Densità superficiale: 200 kHz; spessore: 50 kHz
Intervallo di misurazione della densità superficiale	Densità superficiale: 10~1000 g/m²; spessore: 0~3000 μm;
Ripetizione della misurazione precisione	Densità superficiale: Integrale 16s: ±2σ: ≤±valore vero * 0,2‰ o ±0,06g/m²; ±3σ:≤±valore reale * 0,25‰ o +0,08 g/m²; Integrale 4s: ±2σ: ≤±valore vero * 0,4‰ o ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±valore reale * 0,6‰ o ±0,18 g/m²;Spessore: Zona da 10 mm:±3σ: ≤±0,3μm; Zona da 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Zona da 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Correlazione R2	Densità superficiale >99%; spessore >98%;
Punto laser	25*1400μm
Classe di protezione dalle radiazioni	GB 18871-2002 standard di sicurezza nazionale (esenzione dalle radiazioni)
Durata di vita dei radioattivi fonte	Raggi β: 10,7 anni (emivita Kr85); Raggi X: > 5 anni
Tempo di risposta della misurazione	Densità superficiale < 1 ms; spessore < 0,1 ms;
Potenza complessiva	<3kW